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union HISOMET II高精度非接触式苏州杉本供应[产品打印页面]

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HISOMET II 高精度非接触式步进测量机

只需匹配目标标记图像,即可轻松高精度地实现高度、深度、步长等 Z 轴测量。

High Somet II 系列是采用光学焦点位置检测方法的非接触式步进测量显微镜。采用精密对焦单元,任何人都可以在观察测量点表面状况的同时,通过简单地对准投影目标标记图像的上下垂直线,轻松进行高度、深度、台阶等的高精度测量。成为可能。由于无需担心变形、凹痕、划痕等,因此非常适合测量 IC 和精密加工零件等电子零件。
镜身/
支架
垂直可移动范围 粗动140mm,细动10mm或25mm
*大可观察高度 150mm
落射照明 目标标记(5种选择) 内置照明,无级音量调光,
LED照明3W白光
透射照明
* 可选
远心照明,无级音量调光,
LED照明3W白光
Z轴测量范围 10mm 或 25mm(取决于 Z 轴刻度选择)
Z轴测量精度 量程 ≤ 1 μm(0 至 10 mm 规格),量程 ≤ 2 μm(0 至 25 mm 规格)
* PLLWD M40 x 测量
镜筒 立式三目 20°倾斜角度直立图像,眉毛调节范围54-75mm,带C卡口
左轮** 带4孔 *多可安装 4 个物镜
物镜 PL / PLLWD /
SPL 系列
无限远校正物镜 (∞) 3, 5, 10, 20, 40, 50, 100 x
目镜 NWF10X 放大倍数 10X,视野数 16,包括偏心实线十字十字线
舞台 移动量 (XY) 50 x 50、100 x 50、100 x 100、150 x 150、200 x
100、200 x 200、300 x 150、300 x 300 毫米
测量精度
(阶段进给精度)
对于两个 XY:(4 + 0.02 L) μm L:测量长度 (mm)
选项 防振台、照相机、显示器、运算器、测量App、
自动对焦装置(图像处理型)

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